PUECO的可持續發展概論部落格

水溶性酸鹼氣體，如SO2或是NOX，對於大氣中的化學組成佔有重要的影響力。NOX與光化學反應後會產生光煙霧，不僅造成視覺上的影響，並且對於人類的呼吸系統造成傷害；而SO2更是主要酸沉降的來源。

台灣科技產業發達，光電與半導體產業等產品生產時需大量使用氫氟酸、鹽酸、硝酸等酸鹼液體，在製程中產生大量廢氣，經由各廠之空氣污染防治設備進行處理後由煙囪排放於大氣中，若處理不當將會造成空氣汙染，也可能造成無塵室的微汙染。

有鑑於此，對於酸鹼污染氣體的監測是非常重要的課題，但是現今的酸鹼氣體檢測方法還有待進一步研發。現今使用之方法多為手動法，且有諸多缺點，如於2003發表之一種多孔金屬片固氣分離器，已由行政院環保署認可為排放管道無機酸鹼氣體之標準採樣方法，但是此採樣器之缺點為多孔金屬片需經過多道抽真空塗敷及超音波萃取的步驟，易受到人為污染而產生誤差，不但耗費時間且無法進行線上連續監測。對於光學原理之監測設備，用於濕式洗滌塔等具有微粒液滴之排放源，則易受水氣及微粒干擾而產生更大之誤差。

DIGITIMES中文網 原文網址: 半導體暨電子業酸鹼氣體排放採樣新趨勢 http://www.digitimes.com.tw/tw/dt/n/shwnws.asp?id=0000304467_2F55WKTN5USA1B8JO233L#ixzz
蔡春進教授表示，奈米二氧化鈦塗層的表面親水性佳、接觸角趨近零度，水膜均勻度良好，且長時間操作無乾燥區塊產生，在適當的氣體流量下，氣體中汙染物的吸收率接近100%，吸收溶液吸收氣體後平順均勻的流至分離器下方，再結合離子層析儀等分析液體濃度，即可檢測氣體受汙染程度及汙染物質，可作為自動酸鹼氣體監測器，使用於大氣、無塵室及煙道的酸鹼氣體連續自動監測，有助於產業產品良率的提升及環境空氣品質的改善。